SEM是掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope）的縮寫。它是一種使用電子束掃描樣品表面以獲取樣品表面微觀結(jié)構(gòu)的高分辨率成像技術(shù)。掃描電子顯微鏡可以提供比傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡更高的分辨率和更大深度的樣品觀察，因此在材料科學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、環(huán)境科學(xué)等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
掃描電子顯微鏡通過發(fā)射一束高能的電子，這些電子與樣品表面相互作用，產(chǎn)生各種信號(hào)（如二次電子、反射電子等），這些信號(hào)被檢測(cè)器捕獲并轉(zhuǎn)化為圖像，從而可以觀察到樣品的表面形態(tài)、結(jié)構(gòu)、成分等信息。此外，SEM還可以配合各種附件進(jìn)行更高級(jí)的分析，如X射線能譜儀（EDS）進(jìn)行元素分析，或者電子束誘發(fā)X射線分析儀進(jìn)行晶體結(jié)構(gòu)分析等。
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